Energiedispersives System (EDS)
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Das Energiedispersive System (EDS) ist ein Analysesystem der Elektrostrahlenmikrosonde (EPMA), in der ein Halbleiterdetektor zur Messung der eingehenden Röntgenstrahlung verwendet wird und diese nach ihren Energien filtriert. Der Detektor kann das gesamte Spektrum gleichzeitig erfassen und somit alle Elemente simultan messen. Für eine quantitative Analyse ist das EDS aber nur bedingt geeignet, da es eine geringe Auflösung besitzt.