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Bei der '''elastischen Streuung''' erhalten die abgelenkten Elektronen keinen Energieverlust, sondern werden nur aus ihrer Bahn gelenkt. Diese Eigenschaft ist v.a. bei den BSE von enormer Bedeutung. | |||
Bei der '''inelastischen Streuung''' werden Elektronen abgelenkt und ein Teil ihrer kinetischen Energie an die Atome der Probe übertragen. Dabei verlassen die SE über mehrere Wechselwirkungen die Außenschale der Probe und werden in einem charakteristischen Winkel abgespalten. Der Prozess kann detektiert werden und bildhaft im REM dargestellt werden. | |||
Für die '''bildgebenden Methoden''' eines konventionellen REMs werden meist SE und BSE genutzt. | |||
Die '''Sekundärelektronen (SE)''' liefern die beste Auflösung, da das Auffangen der Sekundärelektronen im Detektor vom Neigungswinkel abhängt und dadurch Topographiekontraste entstehen. Aufgrund der geringen Energie der Sekundärelektronen(< 50 eV) können diese die Probe nur aus sehr geringen Tiefen verlassen, wodurch die höhere Auflösung der SE im Gegensatz zu den BSE zustande kommt. Bei den '''rückgestreuten Elektronen (BSE)''' ist die Ausbeute abhängig von der Kernladungszahl der Probe. Hohe bis mittlere Kernladungszahlen erhöhen die Ausbeute und damit die Rückstreuung. </div> | |||
Bei der '''energiedispersiven Röntgenanalyse''' (EDS/ eng. EDX) werden Röntgenstrahlen nach der Bestrahlung detektiert und erhält die Elementzusammensetzung der Probe. | |||
Bei der | |||
Je nach Ausstattung des Elektronenmikroskops kann neben der Bildgebung auch eine analytische Auswertung gemacht werden. | Je nach Ausstattung des Elektronenmikroskops kann neben der Bildgebung auch eine analytische Auswertung gemacht werden. | ||
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