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Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie EDX (oder: Energiedispersive Röntgenanaylse (EDA) ist eine quantitative Messmethode über die Elementzusammensetzung einer Probe und wird in der Materialanalytik für Elemente der Ordnungszahl > 4 verwendet. Grundlage der Messung ist die Anregung der Elektronen aus der äußeren Schale eines Atoms (Photoelektrischer Effekt). Die Nachweisgrenze wird durch die Eindringtiefe des Elektronenstrahls im Rasterelektronenmikroskop limitiert. Die Analysemethode wird oft in verschiedene Geräte eingebaut um bessere Ortsauflösungen zu erhalten: | Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie EDX (oder: Energiedispersive Röntgenanaylse (EDA) ist eine quantitative Messmethode über die Elementzusammensetzung einer Probe und wird in der Materialanalytik für Elemente der Ordnungszahl > 4 verwendet. Grundlage der Messung ist die Anregung der Elektronen aus der äußeren Schale eines Atoms (Photoelektrischer Effekt). Die Nachweisgrenze wird durch die Eindringtiefe des Elektronenstrahls im Rasterelektronenmikroskop limitiert. Die Analysemethode wird oft in verschiedene Geräte eingebaut um bessere Ortsauflösungen zu erhalten: | ||
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<li>EM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Durch die Kombination kann man auch Elementverteilungsbilder aufnehmen | <li>EM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Durch die Kombination kann man auch Elementverteilungsbilder aufnehmen | ||
<li>TEM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Im Gegensatz zum REM wird die Probe nicht abgerastert, sondern mit dem Elektronenstrahl durchleuchtet. | <li>TEM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Im Gegensatz zum REM wird die Probe nicht abgerastert, sondern mit dem Elektronenstrahl durchleuchtet (bessere Ortsauflösung). | ||
<li>EDXRF/EDRFA: Emission in Form von Fluoreszenz. Großflächige Analyse kompakter Proben möglich. | <li>EDXRF/EDRFA: Emission in Form von Fluoreszenz. Großflächige Analyse kompakter Proben möglich. | ||
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===Grundprinzip=== | ===Grundprinzip=== |