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Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie EDX (oder: Energiedispersive Röntgenanaylse (EDA) ist eine quantitative Messmethode über die Elementzusammensetzung einer Probe und wird in der Materialanalytik für Elemente der Ordnungszahl > 4 verwendet. Grundlage der Messung ist die Anregung der Elektronen aus der äußeren Schale eines Atoms (Photoelektrischer Effekt). Die Nachweisgrenze wird durch die Eindringtiefe des Elektronenstrahls | Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie EDX (oder: Energiedispersive Röntgenanaylse (EDA) ist eine quantitative Messmethode über die Elementzusammensetzung einer Probe und wird in der Materialanalytik für Elemente der Ordnungszahl > 4 verwendet. Grundlage der Messung ist die Anregung der Elektronen aus der äußeren Schale eines Atoms (Photoelektrischer Effekt). Die Nachweisgrenze wird durch die Eindringtiefe des Elektronenstrahls limitiert. Die Analysemethode wird oft in verschiedene Geräte eingebaut um bessere Ortsauflösungen zu erhalten: | ||
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<li>EM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Durch die Kombination kann man auch Elementverteilungsbilder aufnehmen | <li>EM-EDX: Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Durch die Kombination kann man auch Elementverteilungsbilder aufnehmen |