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+ schnellere Messung bei glatten Oberflächen<br> | + schnellere Messung bei glatten Oberflächen<br> | ||
+ Empfindliche Messungen im sub-nm Bereich<br> | + Empfindliche Messungen im sub-nm Bereich<br> | ||
+ Prozesse können in Echtzeit untersucht werden | + Prozesse können in Echtzeit untersucht werden<br> | ||
- Nur lokale Prozesse können untersucht werden, keine Information über die Homogenität der Probe<br> | - Nur lokale Prozesse können untersucht werden, keine Information über die Homogenität der Probe<br> | ||
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*Industrie (z.B. Qualtitätskontrolle, Reibungsmessung) | *Industrie (z.B. Qualtitätskontrolle, Reibungsmessung) | ||
== | ==Lehrveranstaltungen== | ||
*[[Rastersondenmikroskopie (Vorlesung und Übung)]] | |||
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[[:Kategorie:Analytik Methoden|Analytik]] | * [[:Kategorie:Analytik Methoden|Analytik]] | ||
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* [[Rasterelektronenmikroskopie (REM)]] | |||
[[Polarisationsmikroskopie]] | * [[Rastersondenmikroskopie (SPM)]] | ||
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==Autor:innen== | ==Autor:innen== |