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*Empfindliche Messungen im sub-nm Bereich | *Empfindliche Messungen im sub-nm Bereich | ||
*Prozesse können in Echtzeit untersucht werden | *Prozesse können in Echtzeit untersucht werden | ||
=Probleme | =Probleme= | ||
*Nur lokale Prozesse können untersucht werden, keine Information über die Homogenität der Probe | *Nur lokale Prozesse können untersucht werden, keine Information über die Homogenität der Probe |