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==Grundprinzip== | ==Grundprinzip== | ||
<div class="blocksatz"> Das Rasterelektronenmikroskop ist eine Methodik rückgestreute Sekundärelektronen einer Probe bildhaft darzustellen. | <div class="blocksatz"> Das Rasterelektronenmikroskop ist eine Methodik rückgestreute Sekundärelektronen einer Probe bildhaft darzustellen. | ||
Zuerst wird ein primärer Elektronenstrahl generiert, der Richtung Probe beschleunigt wird um diese abzurastern. Die Wechselwirkung | Zuerst wird ein primärer Elektronenstrahl generiert, der Richtung Probe beschleunigt wird um diese abzurastern. Die Wechselwirkung zwischen den Elektronen des Primärstrahls und den Atomen der Probe erzeugt eine Vielfalt an Signalen, die in der untenstehenden Abbildung gekennzeichnet sind. Die Streuprozesse werden in eine inelastische und eine elastische Streuung innerhalb von festen Körpern unterteilt. Durch eine zickzack Bewegung der Elekronen in der Probe werden die Rückstreuelektronen entweder abgespalten oder verharren innerhalb der Probe. Die am meisten genutzten Signale sind die Sekundärelektronen (SE), die Rückstreuelektronen (Back Scattered Electrons BSE) und die Röntgenstrahlung (EDS, eng. EDX). | ||
Bei der '''elastischen Streuung''' erhalten die abgelenkten Elektronen keinen Energieverlust, sondern werden nur aus ihrer Bahn gelenkt. Diese Eigenschaft ist v.a. bei den BSE von enormer Bedeutung. | Bei der '''elastischen Streuung''' erhalten die abgelenkten Elektronen keinen Energieverlust, sondern werden nur aus ihrer Bahn gelenkt. Diese Eigenschaft ist v.a. bei den BSE von enormer Bedeutung. |