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Die '''Sekundärelektronen (SE)''' liefern die beste Auflösung, da das Auffangen der Sekundärelektronen im Detektor vom Neigungswinkel abhängt und dadurch Topographiekontraste entstehen. Aufgrund der geringen Energie der Sekundärelektronen(< 50 eV) können diese die Probe nur aus sehr geringen Tiefen verlassen, wodurch die höhere Auflösung der SE im Gegensatz zu den BSE zustande kommt. Bei den '''rückgestreuten Elektronen (BSE)''' ist die Ausbeute abhängig von der Kernladungszahl der Probe. Hohe bis mittlere Kernladungszahlen erhöhen die Ausbeute und damit die Rückstreuung. </div> | Die '''Sekundärelektronen (SE)''' liefern die beste Auflösung, da das Auffangen der Sekundärelektronen im Detektor vom Neigungswinkel abhängt und dadurch Topographiekontraste entstehen. Aufgrund der geringen Energie der Sekundärelektronen(< 50 eV) können diese die Probe nur aus sehr geringen Tiefen verlassen, wodurch die höhere Auflösung der SE im Gegensatz zu den BSE zustande kommt. Bei den '''rückgestreuten Elektronen (BSE)''' ist die Ausbeute abhängig von der Kernladungszahl der Probe. Hohe bis mittlere Kernladungszahlen erhöhen die Ausbeute und damit die Rückstreuung. </div> | ||
Bei der '''energiedispersiven Röntgenanalyse''' (EDS/ eng. EDX) werden Röntgenstrahlen nach der Bestrahlung detektiert und erhält die Elementzusammensetzung der Probe. | Bei der '''energiedispersiven Röntgenanalyse''' (EDS/ eng. EDX) werden Röntgenstrahlen nach der Bestrahlung detektiert und man erhält die Elementzusammensetzung der Probe. | ||
Je nach Ausstattung des Elektronenmikroskops kann neben der Bildgebung auch eine analytische Auswertung gemacht werden. | Je nach Ausstattung des Elektronenmikroskops kann neben der Bildgebung auch eine analytische Auswertung gemacht werden. | ||
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